Silicon
SOI
Glass
기타 Others
2 inch 3 inch
4 inch 5 inch
6 inch 8 inch
기타(ex.:100*100)
장 QTY.
Class 1
정확한 Wafer 정보입력은 안전한 공정 진행에 필수 입니다.It is necessary to provide accurate information of wafer in an effort to keep process safe.
(잘못된 정보로 인해 문제가 발생할 시 이용자가 손해배상 책임을 질 수 있습니다.)If we have any problem with misinformation that applicants(users) provide, they could be responsible and liable for any damage caused by themselves.
초기 진행 (공정 내역 없음) Initial phase of Process (Any process has not yet been started.)
Non-Metallic Film (물질 정보 기재) Non-metallic Film (Request on registration of Substances)
Metallic Film ∙ 장비 (물질 정보 기재) Metallic Film/ Metallic Equipment (Request on registration of Substances)
신소재 ∙ 기타 (물질 정보 기재) New materials/ Others (Request on registration of Substances)
1) 중소기업청 연구장비공동이용지원사업을 활용하는 중소기업체 만 해당 됩니다.
2) 중소기업청 기술개발사업 종합관리시스템 "smtech"접수(예약)번호 입력